试题要求

传统的光刻技术中,镜头与光刻胶之间的介质是空气,而浸入式技术是将空气介质换成液体,得到合适波长的光,以提高成像分辨率,以下说法错误的是:

发布时间:2023-11-15
试题答案
答案:C
解析:本题考查科技常识。A项正确,液体温度的变化将引起折射率的改变。如果液体温度变化不均匀,会导致像面聚焦偏移和球差的改变。在曝光系统中,焦面的偏移可由调焦调平系统校正,然而局部的温度起伏将引起局部的成像质  [完整解析请在题库中查看]